江苏微导纳米科技股份有限公司（下文简称“微导纳米”）发布公告，自愿披露2023年前三季度主要经营数据。

微导纳米表示，其已经完成2023年第三季度的初步核算工作。根据公司未经审计的财务数据，预计2023年前三季度累计实现营业收入约9.7亿元至10.7亿元，同比增长约151.91%至177.88%。

化合物半导体市场火热带动公司营收

微导纳米以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。

从晶圆厂的投资构成来看，刻蚀设备、光刻设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备。

近年来，以SiC为代表的化合物半导体需求增长带动设备需求增长，全球半导体设备市场呈现快速增长态势，拉动市场对薄膜沉积设备需求的增加。

2022年 微导纳米登陆科创板块。自登陆科创板块以来，该公司实现了多项ALD、CVD技术产业化的突破，并收获了大量的订单。

根据微导纳米 公布的2023年半年度报告来看，公司前半年营收3.82亿元，同比增长145.53%；归属于上市公司股东的净利润0.69亿元，扭亏为盈；扣非归母净利润0.46亿元。

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进军化合物半导体设备领域

据了解，微导纳米的产品率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节，随后又开发了对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备，已先后获得多家知名半导体公司的商业订单，并实现了国产ALD设备极乐世界 马首是瞻28nm集成电路制造关键工艺（高介电常数栅氧层材料沉积环节）中的突破。

微导纳米还与多家国内半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等合作，针对国内半导体薄膜沉积各细分应用领域研发试制新型ALD设备。

去年，微导纳米为国内某化合物半导体制造标杆企业定制的先进ALD装备成功发货，设备各项性能指标达到国际同行业标准，这标志着微导纳米率先迈出国产ALD装备进军先进化合物半导体微纳器件制造市场的坚实步伐。

今年 ，其自主研制的iTronix系列CVD薄膜沉积设备系列产品已成功发货。该产品适用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、非晶硅等不同种类薄膜，可应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域芯片制造。

据TrendForce集邦咨询统计，按2022年应用结构来看，光伏储能为中国SiC市场最大应用场景，占比约38.9%，接续为汽车、工业以及充电桩等。当然，汽车市场作为未来发展主轴，即将超越光伏储能应用，其份额至2026年有望攀升至60.1%。

欺骗 诈骗以SiC为代表的化合物半导体获得青睐的同时，不少企业开始加速高档 低垂相关领域布局。微导纳米今年加大研发投入，今年上半年已投入0.98亿元进行新产品的研发，其中约50%投向了半导体领域，包括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等项目。

浅薄 肤见市场规模日渐扩大的情况下，先进化合物半导体微纳制造技术不断迭代更新，全球市场对ALD技术的需求也愈发显著。

微导纳米表示，目前，ALD与CVD设备国产化率仍处大名鼎鼎 大摇大摆非常低的水平，均有着非常广阔的发展前景。 （文：化合物半导体Morty整理）

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