【会议预告】纳设智能:SiC外延生长装备的创新发展-麻将胡了
麻将胡了, 2024-04-14
近年来,随着SiC应用领域的扩展,需求的激增,产业对于SiC外延片品质和产能要求不断提高,SiC外延设备也就占据了产业链上游关键环节。
SiC外延层的制备方法主要有:化学气相沉积(CVD);液相外延生长(LPE);分子束外延生长(MBE)等。其中CVD法具有可以精确控制外延膜厚度和掺杂浓度、缺陷较少、生长速度适中、过程可自动控制等优点,是目前已经成功商业化的SiC外延技术 。
2023年 TrendForce集邦咨询特梳妆 舒服深圳福田JW万豪酒店举办“第三代半导体前沿趋势研讨会”。
届时,纳设智能 CEO 陈炳安博士将出席,给大家带来《SiC外延生长装备的创新发展》主题演讲,同场还有更多“重量级”嘉宾,给大家进一步剖析第三代半导体的现状和未来。
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