近日，据外媒报道，Axcelis向欧洲、亚洲客户交付了多台Purion H200 SiC Power Serie离子注入系统；Transphorm与美国国家安全技术加速机构签订协议。

1、Axcelis交付数台离子注入机

美国离子注入设备制造商Axcelis公司日前宣布，向欧洲、亚洲客户交付了多台该公司Purion H200 SiC Power Series离子注入系统，并将用于支持电动汽车(EV)应用的功率器件大批量生产。

该公司总裁兼首席执行官Russell Low评论说：“功率器件市场继续快速增长，是我们全球增长的关键驱动力。我们很高兴继续通过我们市场领先的Purion Power系列离子注入机支持我们客户的晶圆厂产能扩张。”

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2、Transphorm与NSTXL签约，开发GaN外延片

近日，Transphorm与美国国家安全技术加速机构（NSTXL）签订了《履约人协议》。

据此，公司已同意根据工作声明开发和制造先进的GaN外延片材料，协议包含了NSTXL与美国政府之间的一项协议。

根据该协议，公司最多可从NSTXL获得1520万美元的资金，根据项目阶段的实现情况分期支付。自协定执行之日起，该协定的资金数额为750万美元，是逐步供资的。该协定的初始到期日为2024年 如果未来的供资承诺总额可能高达770万美元，则可延长该期限。（文：集邦化合物半导体 Doris整理）

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