复旦大学高密度刻蚀机和介质刻蚀机采购项目中标结果公布。

项目中标人均为北方华创。其中，高密度刻蚀机采购项目，中标金额1500万元，涉及标的物2台高密度刻蚀机；介质刻蚀机采购项目，中标金额1050万元，涉及标的物1台介质刻蚀机。

同日，北京大学公布多项设备采购项目中标结果，包括北京大学集成电路学院原子层沉积设备采购项目、北京大学集成电路学院四管扩散炉采购项目、北京大学集成电路学院磁控溅射台（金属）采购项目、北京大学集成电路学院等离子增强原子层沉积设备采购项目、北京大学集成电路学院高密度等离子刻蚀系统采购项目、北京大学集成电路学院高密度等离子刻蚀机（Poly Si）采购项目、北京大学等离子增强化学气相淀积系统采购项目。

以上项目中标人均为北方华创。其中，原子层沉积设备采购项目，中标金额395万元，涉及标的物2套原子层沉积设备；四管扩散炉采购项目，中标金额435万元，涉及标的物2套四管扩散炉；磁控溅射台（金属）采购项目，中标金额598.8万元，涉及标的物2套磁控溅射台（金属）；等离子增强原子层沉积设备采购项目，中标金额495万元，涉及标的物1套等离子增强原子层沉积设备。

图片来源：拍信网正版图库

高密度等离子刻蚀系统采购项目，中标金额1295万元，涉及标的物2套高密度等离子刻蚀；高密度等离子刻蚀机（Poly Si）采购项目，中标金额598万元，涉及标的物1套高密度等离子刻蚀机；等离子增强化学气相淀积系统采购项目，中标金额1095万元，涉及标的物1套等离子增强化学气相淀积系统。

北方华创是国内集成电路高端工艺装备的先进企业，主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。

今年前三季度，北方华创实现营收100.12亿元，同比增长62.19%；归属于上市公司股东的净利润为16.86亿元，同比大幅增长156.13%。（文：集邦化合物半导体 Cecilia整理）

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